1.真空炉处理钛合金时，氮气不宜用作冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成金氮化钛。
  2.真空炉活动连接部分采用O型橡胶圈密封连接，部分采用水冷却。
  3.工件在真空状态下淬火时，应使用真空淬火油，蒸气压低。
  4.真空炉的维护应处于真空或纯氮状态，避免平时不用时吸气、吸湿。
  5.国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些公司的规范为0.67Pa/h。
  6.真空加热主要是辐射，工件在炉内保持距离。
  7.在加热过程中，工件和炉内材料会放气，降低真空度。
  8.真空回火、真空退火、真空固溶处理和真空时效加热温度一般与常规加热温度相同。
  9.真空回火炉大约有快冷设备。冷却水的压力大于0.2Mpa，流量流量。
  10.冷却气体：钢一般选用99.995纯氮，高温合金选用99.999氮或氩，钛合金选用99.995%氩。
  11.加热：放入工件后，一般先预抽至6.67Pa加热前可加热。